웨이퍼용 정밀 IR 센서

정밀한 IR 가열을 활용해 웨이퍼 처리 과정에서 탄소 배출을 줄이는 방법 반도체 제조 공정에 종사해본 사람이라면 열적 정밀도가 얼마나 중요한지 잘 알 것입니다. 오랫동안 우리는 치료나 어닐링 작업을 위해 대형 저항식 오븐을 사용해왔지만, 솔직히 말해서 이런 오븐들은...