왜 적외선 처리가 공장 업그레이드에 최적의 방법인가? 클린룸 장비를 업그레이드할 때 고려해야 할 사항은 크게 두 가지입니다. 첫째는 에너지 낭비를 줄이는 것이고, 둘째는 실제로 무연 기준을 충족시키는 것입니다. 대부분의 구식 설비들은 대류식 오븐을 사용합니다. 이 오...

실제 생산 현장에서는 포토레지스트는 이론적인 것은 전혀 중요하지 않습니다. 90°C에서 약간의 온도 변동이 생겨도 웨이퍼 전체에 걸친 두께의 불균일성이 발생하게 되고, 그로 인해 노출 조건의 정밀도가 떨어집니다. 그 결과로 낭비되는 자재와 재작업 비용, 그리고 가동률...