에너지 효율적인 웨이퍼 가열기
와이퍼를 깨끗하게 유지하기 위한 팁: 가열에 관한 진실
만약 여러분이 클래스 100 등급의 청정실에서 작업한다면, 미세한 금속 입자들이 발생하는 문제가 얼마나 심각한지 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 금속 조각이라도, 혹은 저품질의 가열 요소에서 나오는 가스조차도...
에너지 절약형 반도체 히팅
반도체 생산 공정에서 발생할 수 있는 문제들에 대해 더 이상 걱정하지 마세요.
솔직히 말해서, 고부하 상태에서 적외선 램프가 파손되면 정말 큰 문제가 됩니다. 단순히 기계가 멈추는 것뿐만 아니라, 유리 조각과 할로겐 가스가 웨이퍼 위에 떨어지게 되죠.
아주 작은 금이...