포토레지스트 건조용 램프

리소그래피 공정에서는, 소프트 베이킹 과정에서 단 0.5도만큼의 온도 변동이 있어도 치명적인 오차가 발생할 수 있습니다. 이러한 오차로 인해 재작업이 필요해지거나, 원치 않는 결과물이 생기게 됩니다. 우리는 열 특성을 일관되게 유지하기 위해 특별한 포토레지스트 베이킹...