TEL (Tokyo Electron) 히터 램프

생산 현장에서는, 포토레지스트를 가열하는 과정에서 0.5°C만큼의 온도 변동이 있어도 많은 양의 제품이 폐기되는 결과를 초래할 수 있습니다. 따라서 예측이 아닌, 신뢰할 수 있는 열공급이 필요합니다. 우리는 TEL 표준에 부합하는 히터 램프를 개발했습니다. 이 램프는...