와이퍼를 깨끗하게 유지하기 위한 팁: 가열에 관한 진실 만약 여러분이 클래스 100 등급의 청정실에서 작업한다면, 미세한 금속 입자들이 발생하는 문제가 얼마나 심각한지 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 금속 조각이라도, 혹은 저품질의 가열 요소에서 나오는 가스조차도...

화학 물질을 사용하는 웨이퍼 가공 도구가 폭발하지 않도록 하는 방법 솔직히 말해서, 휘발성이 있고 인화성이 강한 화학 물질을 적외선 가열등과 함께 사용하는 것은 재앙을 부를 수 있는 행위입니다. 사실상, 공정 중간에 매우 위험한 발화점이 존재하는 셈입니다. 저희는 이...

기계를 가열하는 것을 그만두고, 웨이퍼를 건조시키는 데 집중해야 합니다. MEMS 제조 업무를 해본 사람이라면 웨이퍼를 건조시키는 것이 얼마나 어려운지 잘 알 것입니다. 웨이퍼 표면에 남은 잔여물들과 싸워야 하기 때문입니다. 기존의 방식인 일반적인 대류 오븐을 사용하...

화학 처리 구역에서 웨이퍼를 처리할 때 안전을 지키는 방법 웨이퍼를 건조시키기 위해서는 많은 열이 필요합니다. 하지만 그 램프들을 화학 물질 처리 구역 근처에 두면 문제가 생깁니다. 휘발성 가스들이 곳곳에 퍼져 있으며, 스파크가 발생하면 작업 공간이 불길에 휩싸일 수...

정밀한 IR 가열을 활용해 웨이퍼 처리 과정에서 탄소 배출을 줄이는 방법 반도체 제조 공정에 종사해본 사람이라면 열적 정밀도가 얼마나 중요한지 잘 알 것입니다. 오랫동안 우리는 치료나 어닐링 작업을 위해 대형 저항식 오븐을 사용해왔지만, 솔직히 말해서 이런 오븐들은...

왜 모든 램프를 반드시 테스트해야 하는가? (그리고 왜 그게 중요한지) 웨이퍼를 가열할 때는 오차의 여지가 전혀 없습니다. 작은 전기 아크나 손상된 절연체만으로도 램프가 고장날 뿐만 아니라, 전체 실리콘 제품군도 망가질 수 있습니다. 이는 누구도 원하지 않는 악몽과...

웨이퍼가 스핀 트랙에 닿으면 시간이 시작된다. 생산 라인에서는 1분간의 온도 변동만으로도 치수에 영향을 줄 수 있고, 단 하나의 입자도 전체 로트를 불량으로 만들 수 있다. 기존 건조기는 300 mm 전 영역에서 균일성을 완벽하게 유지하면서도 청정도를 확보하지 못했다...