화학 물질을 사용하는 웨이퍼 가공 도구가 폭발하지 않도록 하는 방법
솔직히 말해서, 휘발성이 있고 인화성이 강한 화학 물질을 적외선 가열등과 함께 사용하는 것은 재앙을 부를 수 있는 행위입니다. 사실상, 공정 중간에 매우 위험한 발화점이 존재하는 셈입니다.
저희는 이 문제를 해결할 방법을 찾아냈습니다. 모든 부분이 노출된 구조 대신, 전체를 밀폐된 구조로 만들어버린 것입니다.
안전하게 만드는 방법
일반적인 적외선 램프는 전기 접점과 밀폐 부분이 너무 쉽게 누수되기 때문에 화학 환경에서는 제대로 작동하지 않습니다. 증기가 들어가면 문제가 생깁니다.
이를 방지하기 위해 저희는 두 단계의 방법을 사용합니다. 첫째, 램프를 사파이어나 내화성이 뛰어난 석영으로 만들어진 커버 안에 넣습니다. 그 다음, 전기 연결 부분을 고온에 견디고 폭발을 막을 수 있는 특수 접착제로 막아줍니다.
간단히 말해, 스파크가 발생하기 전에 미리 막아주는 것입니다. 또한, 이러한 밀폐 구조가 사용하는 강한 부식성 세척제에도 견딜 수 있도록 설계되어 있어서, 몇 달 동안 사용해도 구조물이 손상되거나 누수되지 않습니다.
열 문제 해결
이러한 보호 장치를 추가하면 열 밀도가 낮아질 것이라고 생각할 수 있습니다. 하지만 그렇지 않습니다. 저희는 적외선이 웨이퍼에 충분히 도달할 수 있도록 코팅의 두께를 신중하게 조절했습니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 보호 층을 추가하면 질량이 증가합니다. 그래서 PID 설정도 이전과 같지 않게 됩니다. 기존 도구에 이를 장착할 경우, 기존 설정을 그대로 사용하지 마세요. 온도 조절 과정에서 목표값을 초과할 수 있으니, 시간을 내어 온도 곡선을 다시 조정해야 합니다.
장비에 장착하는 방법
저희는 이 제품들을 그대로 교체할 수 있도록 설계했습니다. 안전 보호 장치가 램프에 내장되어 있으므로, 별도의 크고 무거운 방폭 케이스를 만들 필요가 없습니다.
이렇게 하면 공간을 절약할 수 있으며 작업 공간도 깨끗하게 유지됩니다. 단, 사용하는 와이어링이 해당 클린룸 환경에 적합한지 반드시 확인해야 합니다. 그러면 문제없이 사용할 수 있습니다.