기계를 과열시키는 것을 멈추세요: IR 열을 효과적으로 관리하는 방법 고출력의 적외선 램프를 반도체 장비에 사용해본 적이 있다면 그 어려움을 잘 알 것입니다. 이는 끊임없이 발생하는 ‘과열 문제’와의 싸움입니다. 일반적인 램프들은 마치 작은 태양과 같아서 에너지를 모...

웨이퍼가 스핀 트랙에 닿으면 시간이 시작된다. 생산 라인에서는 1분간의 온도 변동만으로도 치수에 영향을 줄 수 있고, 단 하나의 입자도 전체 로트를 불량으로 만들 수 있다. 기존 건조기는 300 mm 전 영역에서 균일성을 완벽하게 유지하면서도 청정도를 확보하지 못했다...