웨이퍼 공정용 온도 센서
화학 물질을 사용하는 웨이퍼 가공 도구가 폭발하지 않도록 하는 방법
솔직히 말해서, 휘발성이 있고 인화성이 강한 화학 물질을 적외선 가열등과 함께 사용하는 것은 재앙을 부를 수 있는 행위입니다. 사실상, 공정 중간에 매우 위험한 발화점이 존재하는 셈입니다.
저희는 이...
MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터
기계를 가열하는 것을 그만두고, 웨이퍼를 건조시키는 데 집중해야 합니다.
MEMS 제조 업무를 해본 사람이라면 웨이퍼를 건조시키는 것이 얼마나 어려운지 잘 알 것입니다. 웨이퍼 표면에 남은 잔여물들과 싸워야 하기 때문입니다.
기존의 방식인 일반적인 대류 오븐을 사용하...
스마트 센서 포장 적외선
왜 모든 적외선 소자를 반드시 테스트해야 하는가? (그리고 왜 그게 중요한지)
스마트 센서 패키징 분야에서는 아주 작은 절연상의 문제만으로도 제어 보드가 손상되거나 고속 생산 라인이 멈추는 상황이 발생할 수 있습니다. 이는 누구도 원하지 않는 악몽입니다.
그래서 우리...
웨이퍼용 정밀 IR 센서
정밀한 IR 가열을 활용해 웨이퍼 처리 과정에서 탄소 배출을 줄이는 방법
반도체 제조 공정에 종사해본 사람이라면 열적 정밀도가 얼마나 중요한지 잘 알 것입니다. 오랫동안 우리는 치료나 어닐링 작업을 위해 대형 저항식 오븐을 사용해왔지만, 솔직히 말해서 이런 오븐들은...