V prostředí lithografie platí jednoduché pravidlo: i malý posun o půl stupně během procesu zahřívání čipu může narušit kontrolu tloušťky vrstvy a šířky linií. Samotné nastavení parametrů nestačí k dosažení požadovaných výsledků. Potřebujete termální rovnoměrnost, na kterou můžete spoléhat v každém cyklu.
Co je technicky důležité
Naše infračervená světla určená k vysychání fotorezistů udržují rovnoměrnost teploty na úrovni čipu v rozmezí ±0,1 °C. Díky rychlému nárůstu teploty je možné udržet termální rovnováhu. Spektrum infračerveného záření bylo vybráno proto, aby minimalizovalo napětí na substrátu při přenosu tepla. Tělo světel a jejich optika jsou navrženy tak, aby byly kompatibilní s prostředím čistých prostor třídy 1–100. Nulová tvorba částic není jen reklamní slogan – je to součást samotných materiálů, geometrie a konstrukce zařízení. Díky tomu dostanete opakovatelné výsledky, stabilitu při provozu po dobu více než 5 000 hodin a možnost kontroly procesu 24/7.
Proč to v praxi funguje
Při zpracování fotorezistů určuje krok zahřívání celkový průběh procesu exponování a vyvolávání. Tyto infračervená světla snižují dobu potřebnou k dosažení požadované teploty a zároveň udržují konstantní teplotu na celém povrchu čipu. Výsledkem je méně oprav, méně odpadu a stabilní výsledky v oblasti kritických rozměrů. Spotřeba energie klesá, protože systém přenáší teplo tam, kde je to potřeba. Spolehlivost se projevuje dlouhou dobou provozu – když termální stabilita přestane být slabinou, snižují se neočekávané zastavení provozu.
Na co si dát pozor
Při instalaci je nutné zajistit, aby velikost světel a typ konektorů odpovídaly vašemu zařízení na nanášení/fazování nebo modulu na vysychání. Tolerance integrace jsou velmi přísné a správné zarovnání přímo ovlivňuje rovnoměrnost. Světla fungují nejlépe, když odvod tepla a chladicí системы odpovídají návrhu – odchylky mohou narušit rovnoměrnost a zvýšit riziko vzniku částic. Nejprve proveďte krátké testování, abyste potvrdili správnost nastavení, a poté můžete s jistotou pokračovat v provozu.