V prostorách určených k litografii není proces zahřívání jen způsobem na rozehřátí zařízení – slouží k nastavení profilu fotorezistu. Jakákoli odchylka o 2 °C během procesu může narušit správné řízení rozměrů a způsobit vznik nežádoucích útvarů podél linie. Světlo používané k zahřívání má jediný účel: udržovat konstantní teplotu během celého procesu, minutu po minutě.
Co je důležité pod povrchem Vybereme halogenové zdroje krátkovlnného infračerveného záření umístěné v křemenné obálce – reagují rychle a zůstávají stabilní. To zajišťuje tepelnou rovnost na úrovni polovodičových desek v rozsahu ±0,1 °C napříč celou plochou desky. Přesnost teploty během procesu zahřívání fotorezistu zase zajišťuje přesné dodržování teplotních parametrů.
Kompatibilita s čistými prostory tříd 1–100 je součástí konstrukce: používají se materiály s nízkou úrovní uvolňovaných látek a cesta vzduchu je řízena tak, aby minimalizovala vznik částic. Nulová produkce částic není jen slovo – je to základní požadavek.
Systém funguje 24/7 bez plánovaných přestávek. Opakovatelnost výsledků je zajištěna díky uzavřenému systému řízení, který kompenzuje kolísání napětí a stárnutí světel.
Proč to funguje v průběhu výroby Je potřeba, aby proces zahřívání odpovídal specifikacím, a ne naopak. Toto světlo stabilizuje oblast zahřívání, takže proces zahřívání efektivně odstraňuje rozpouštědla a podporuje proces křížové vazby. Výsledkem je lepší výtěžnost a méně odpadu.
Spotřeba energie klesá, protože reakce je rychlá a doba zahřívání je krátká. Méně výměn světel znamená také méně údržby v čistých prostorách. Když teplota přestane být proměnnou, otevírá se prostor pro další vylepšení procesu.
Na co si dát pozor Instalace závisí na souladu mechanického rozhraní spin coateru a signálů řízení. Balíčky určené k modernizaci se liší podle platformy a typu konektoru.
Světlo je citlivé na proudění vzduchu a správu teploty – udržujte cestu vzduchu podle specifikací a pravidelně čistěte křemenový povrch. Po výměně světla dejte mu krátkou dobu na stabilizaci, než stanovíte konečnou teplotu.