V prostorách určených k litografii není proces zahřívání jen způsobem na rozehřátí zařízení – slouží k nastavení profilu fotorezistu. Jakákoli...

Na lithografické podlaze není soft bake jen takové rozcvičení. Je to krok, který nastavuje profil rozpouštědla ve fotoresistu, fixuje tloušťku filmu...