Isı Kaybını Durdurun: Altın Kaplamalı Kuvarsın Sırrı
Wafer üretimi sırasında, silikon yüzeyine ısıyı iletmek oldukça zor bir iş olduğunu hemen fark edersiniz.
Sorun şu: Çoğu standart lamba enerjiyi her yöne saçar. Bu da gücün yarısının wafer yerine makinenin gövdesini ısıtmasına neden olur. Bu büyük bir israf demektir.
Bunu düzeltmek için altın kaplamalı kuvars koruyucular kullanıyoruz.
Neden altın?
Bu sadece görünüm açısından değil. Altın, kızılötesi ışığı yansıtma konusunda son derece etkilidir. Kuvarsin arka yüzeyine ince bir altın tabakası ekleyerek aslında yönlendirici bir ayna oluşturmuş oluyoruz. Böylece fotonlar geriye doğru yayılmak yerine ileriye doğru gönderiliyor. Böylece daha fazla ısı wafer üzerine aktarılır ve elektrik giderleri de azalır.
Malzemelerin önemi
Kuvars kullanmamızın sebebi dayanıklılığıdır. Hızlı ısınma ve soğuma döngülerine dayanabilir ve çatlamaz.
Altın ise vakum altında yerleştirilir. Yani sıcaklık arttığında altın tabakanın soyulmaması veya dökülmemesi sağlanır.
Değerli bir trade-off
Ancak bir dezavantajı var: Enerjiyi tek bir yönde yoğunlaştırdığınızda, ısınma süresi çok daha hızlı olur. Bu iyi bir şey gibi görünse de, wafer yüzeyine çok daha fazla baskı uygulanır. Eğer PID kontrol cihazları doğru şekilde ayarlanmazsa, hedef sıcaklığın üzerine çıkılabilir. Ayrıca, waferlere ulaşmayan ısıyı soğutma sistemlerinin kontrol edebilmesi de önemlidir.
Ama doğru şekilde ayarlandığında işler tamamen farklı bir hal alır. Basit bir ısıtıcıdan, hassas bir araç haline gelmiş olursunuz. Güç tüketimi azalır, soğutma sisteminin daha az çalışması gerekir ve waferler her seferinde tutarlı kalır.