Neden Yarı İşlenmiş Ürünlerde UHP Kızılötesi Isıtma Sistemlerini Kullanıyoruz?
Yarı iletken sektörü, eski tip konveksiyon fırınlarından uzaklaşıyor. Artık Ultra Yüksek Saflıkta (UHP) kızılötesi ısıtıcı lambalarına doğru büyük bir geçiş yaşanıyor. Bu sadece bir endüstriyel eğilim değil; aynı zamanda bol miktarda elektrik harcamadan da katı kurutma standartlarına ulaşmak anlamına geliyor.
Fiziksel prensipleri doğru uygulamak
Normal bir fırının nasıl çalıştığını düşünün. Önce hava ısıtılır, ardından bu hava wafer’ı ısıtır. Bu süreç yavaştır ve verimsizdir.
UHP kızılötesi lambalar ise farklı şekilde çalışır. Kısa dalga boylu radyasyon kullanarak enerjiyi doğrudan substrata ileterek ısı sağlar. Isı sadece fırın duvarlarında kalmaz; hedefe ulaşıp orada kalır.
En iyi yanı ise, üretim kapasitenizi düşürmeden kurutma sürecinin boyutunu azaltabilmenizdir. Bu da hem alan tasarrufu sağlar hem de enerji maliyetlerinizi düşürür.
Kirlilikle mücadele
Temiz odalarda gaz salınımı aslında büyük bir sorundur. Havadaki en küçük miktarlardaki kirleticiler bile sorun yaratır.
İşte bu yüzden yüksek saflıkta sentetik kuvars ve özel halojen dolgular kullanıyoruz. Metalik kirleticilerin çevreye sızmamasını sağlamamız gerekiyor. Bu lambalar, kuvars kabuğunun zarar görmemesi sayesinde aşırı ısılara dayanabilir ve böylece wafer’lere parçacık bırakmayan temiz bir ısı kaynağı elde edilir.
Hız ile hassasiyet arasındaki denge
UHP lambalar oldukça güçlüdür. Açılma süresi neredeyse anlık olur.
Ancak bu hızın bir dezavantajı vardır. Enerji çok yoğun olduğundan, konveyör hızı ve lambadan olan mesafe konusunda son derece dikkatli olmak gerekir. Eğer PID kontrol cihazları doğru ayarlanmazsa, wafer’lerin kenarları yanabilir. Mükemmel sonuç elde etmek için biraz ustalık gereklidir.
Süreci daha temiz hale getirmek
Kızılötesi ısıtma, kuru bir işlemdir. Bu da eski sistemlerde yaygın olarak kullanılan kimyasal çözücülere veya kurşun içeren katalizörlere ihtiyaç duyulmadığı anlamına gelir.
UHP kızılötesi sistemlere geçerek, üretim sürecinden bu tür toksinleri tamamen ortadan kaldırabilirsiniz. Bu, sıfır emisyonlu bir kurutma sürecine ulaşmanın en basit yoludur.