Litografi işlemlerinde, “bake” işlemi sadece bir ısınma süreci değildir; aslında fotoresistin yapısını belirleyen bir adımdır. Yumuşak veya sert...

Litografi katında soft bake, sadece bir ısınma turu değildir. Fotoresist solvent profilini belirleyen, film kalınlığını kilitleyen ve doğrudan...