
Warum wir große Heizöfen durch Infrarotbehandlungsanlagen ersetzen
In Halbleiterfabriken werden endlich diese riesigen Konvektionsöfen sowie die damit verbundenen chemischen Trocknungsprozesse aufgegeben. Alle wandeln zum Einsatz von Infrarotbehandlungsanlagen über. Warum? Weil diese Methode es ermöglicht, die Anforderungen bezüglich Umweltfreundlichkeit und Verzicht auf Blei zu erfüllen – ohne dass dadurch die Produktion verlangsamt wird.
Energieverschwendung vermeiden
Man sollte sich vor Augen halten, wie ein herkömmlicher Ofen funktioniert: Zuerst wird die Luft erhitzt, anschließend erwärmt diese Luft das Wafer. Das ist ein ineffizienter Prozess – der Großteil der Energie geht dabei einfach drauf, um den Metallrahmen der Maschine zu erhitzen.
Bei Infrarotbehandlungsanlagen ist das anders: Dabei wird elektromagnetische Strahlung verwendet, um direkt das Ziel zu erreichen. Wir können die exakt richtigen Absorptionsbänder des Klebstoffs oder des Photoresists auswählen – dadurch wird nur das erwärmt, was tatsächlich erwärmt werden muss.
Außerdem muss man sich keine Sorgen mehr um die komplizierten Systeme zur Entfernung von Schadstoffen machen. Da wir nicht auf schädliche chemische Mittel angewiesen sind, bleibt die Luft sauberer.
Der Kampf gegen Blei
Der Übergang auf bleifreie Lötverfahren ist nicht einfach. Es sind höhere Temperaturen erforderlich, und diese müssen schnell erreicht werden. Mit Infrarotbehandlungsanlagen können wir die maximalen Temperaturen innerhalb von Sekunden erreichen. Wir müssen lediglich die Wellenlänge anpassen. Kurzwellen eignen sich hervorragend für die Oberfläche; Mittelwellen dringen tiefer ein. Dadurch wird sichergestellt, dass die Legierung richtig benetzt wird – ohne dass die empfindlichen Siliziumschaltkreise beschädigt werden.
Die Nachteile (denn es gibt immer welche)
Infrarotbehandlungsanlagen sind zwar sehr schnell – aber sie arbeiten nur in einer bestimmten Richtung. Man kann einfach keine Lampe über das Wafer hängen und schon ist alles in Ordnung. Das führt dazu, dass es „heiße Punkte“ gibt, die das Wafer verformen können. Wir müssen also genau auf die Form der Reflektoren sowie auf die Abstände zwischen ihnen achten, damit alles gleichmäßig behandelt wird.
Ein weiterer Tipp: Überprüfen Sie Ihre Kühlungssysteme. Wenn Ihr System nicht dafür ausgelegt ist, Strahlungswärme abzuleiten, wird Ihre ganze Fabrik wie eine Sauna werden.
Platz sparen
Das Beste daran: Die benötigte Fläche. Durch den Austausch eines riesigen Konvektionsofens durch eine Infrarotbehandlungsanlage wird viel Platz gespart. Doch der eigentliche Vorteil liegt im Startzeitpunkt: Man muss nicht mehr zwei Stunden warten, bis der Ofen stabil ist. Man schaltet einfach den Schalter ein, die Lampen leuchten – und schon kann die Produktion beginnen.