In der Fertigungshalle ist eine Abweichung von 1°C im Weichbrennofen keine unbedeutende Angelegenheit – sie hat nämlich Auswirkungen auf die Produktqualität. Das Trocknen der Wafer, das Vorbrennen des Fotoleits und die Nachbehandlung nach der Belichtung erfordern alle eine präzise Kontrolle der Temperatur. Genau deshalb haben wir unsere Heizsysteme in China entwickelt: um Kurzwellen-Infrarotheizer zu schaffen, die speziell für den Einsatz in Halbleiterfertigungsprozessen konzipiert sind – und nicht nur für Marketingzwecke.
Was technisch wichtig ist: Unsere Infrarotmodule sorgen für eine Temperaturgleichmäßigkeit von ±0,1°C über die gesamte Fläche des Wafers. Die Genauigkeit der Einstellungen liegt bei ±0,2°C. Schnelle Temperaturanpassungen verkürzen das Temperaturprofil. Zudem verhindert die fehlende Partikelbildung, dass die Partikelkonzentrationen in Reinräumen der Klassen 1–100 außer Kontrolle geraten. Die Quarz-Halogen-Elemente gewährleisten eine stabile Spektralausgabe, sodass die Absorption des Fotoleits konstant bleibt. Der Heizelementkörper ist außerdem für den Betrieb im Vakuum sowie mit inerten Gasen geeignet. Die Leistungsdichte wird anhand der thermischen Masse des Substrats festgelegt – nicht anhand des Gehäuses des Heizers. So wird die Temperatur direkt am Wafer gemessen, und nicht am Heizer selbst.
Warum das in der Praxis funktioniert: In Lithografieanlagen bestimmt die Temperatur beim Weichbrennen direkt die Viskosität des Fotoleits sowie seine Dicke. Unsere Infrarotheizer halten diese Parameter genau ein – dadurch werden Schwankungen in der Struktur des Fotoleits vermieden. Beim Trocknen der Wafer nach der Feuchtigkeitsreinigung sorgt eine schnelle, gleichmäßige Erhitzung dafür, dass es zu keiner Verformung des Musters kommt. Da das Infrarotlicht den Wafer direkt erwärmt, anstatt die Wände der Kammer, sinkt der Energieverbrauch. Die Geräte können rund um die Uhr betrieben werden, mit geringer Wartungsaufwand – Felddaten zeigen eine Lebensdauer von über 5.000 Stunden mit weniger als 5% Leistungsschwankungen.
Was Sie berücksichtigen müssen: Diese Heizer benötigen einen speziellen, regulierten Stromanschluss sowie eine präzise Kalibrierung der Emittivität für jede Prozessschicht. Es ist einfach, sie in bestehende Öfen einzubauen – doch jeder Änderung der thermischen Masse kann eine kurze Anpassungszeit erforderlich sein, um die optimale Temperatur zu erreichen. Bevor Sie mit dem Serienbetrieb beginnen, sollten Sie eine 100-stündige Erprobungsphase sowie eine grundlegende Messung durchführen.