In der Fertigungshalle ist eine Schwankung von 1°C während des Trocknungsprozesses des Photoresists keine „kleine Abweichung“. Solche Schwankungen führen zu einer erhöhten Breite der Linien, zu Unreinheiten auf der Oberfläche des Wafer sowie zu Ausschuss. Die IR-Heizung kann präzise sein – doch nur dann, wenn die Spannung, die die IR-Quelle versorgt, stabil genug ist, um den thermischen Zustand des Wafer zu erhalten. Wir haben unseren IR-Spannungsregler so konzipiert, dass er diesen Anforderungen entspricht.
Was technisch wichtig ist:
Wir streben eine effektive Temperaturneinheitlichkeit von ±0,1°C über die gesamte Fläche des Wafer an. Dazu wird die eingehende IR-Leistung innerhalb enger Toleranzen gehalten, sodass Temperaturschwankungen durch die Linienbildung nicht zu Spitzenwerten führen. Der Regler ist für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet; die verwendeten Materialien und Verarbeitungsverfahren sorgen dafür, dass es kaum Partikelbildung gibt. Sowohl die sanften als auch die intensiven Trocknungsprozesse sind wiederholbar, da der Controller bereits vor dem Erreichen des Emitters auf Spannungsabfälle und -sprünge reagiert. So kann die Anlage 24/7 betrieben werden, ohne dass es zu großen Temperaturschwankungen kommt – die Lebensdauer der Anlagen liegt bei mehr als 5.000 Stunden, mit weniger als 5% Leistungsverlust.
In Lithografieanlagen sind Zykluszeit, Ertrag und Sauberkeit unverhandelbar. Eine stabile IR-Leistung verhindert Nacharbeiten wegen ungleichmäßiger Trocknung, verkürzt die Einarbeitungszeit und hilft dabei, die kritischen Abmessungen genau einzuhalten. Zudem wird Energieverschwendung vermieden, da Überlastungen und wiederholte Prozesse vermieden werden. Zudem wird die Wartung vereinfacht, da die IR-Emitter vor Spannungsbelastungen geschützt werden.
Hier sind die praktischen Details: Passen Sie den Regler dem jeweiligen IR-Emitter an – sei es eine Kurzwellen-, Mittelwellen- oder Kohlenstofffasernquelle – und überprüfen Sie außerdem die Abmessungen der Anschlüsse und der Befestigungen im Hinblick auf die Schnittstelle Ihrer Anlage. Die Inbetriebnahme erfolgt schnell: Sie justieren einfach die PID-Reaktion entsprechend der thermischen Eigenschaften des Heizelements oder des IR-Ofens. In Räumen mit hoher Luftfeuchtigkeit sollten Maßnahmen zur Vermeidung von Kondenswasser getroffen werden, damit die langfristige Stabilität gewährleistet bleibt.