In der Lithografie-Produktion dient das Erhitzen des Photoresists nicht dazu, die Geräte vorzubereiten – vielmehr bestimmt es den Profil des...

In der Lithografieabteilung reicht bereits eine Abweichung von einem halben Grad bei der Erhitzung des Photoresists aus, um die kritischen...

Auf dem Lithografieboden ist Softbake kein Aufwärmprogramm. Es ist der Schritt, der das Lösungsmittelprofil des Photoresists festlegt, die Filmdicke...