为何我们在半导体制造过程中转向UHP红外固化技术
在半导体领域，人们正在逐渐放弃那些传统的对流式烤箱。现在，大家都倾向于使用超高纯度的红外加热灯。这并非仅仅是一种行业趋势，而是因为这样的技术能够帮助我们满足严格的无铅及环保要求，同时还能避免浪费大量电力。
正确运用物理原理
普通烤箱的工作原理是先加热空气，再让空气来加热晶圆。不过这种方式效率很低。而UHP红外灯则有所不同——它们利用短波辐射直接将能量传递到晶圆上。热量不会滞留在烤箱的墙壁上，而是直接作用于晶圆上。最棒的是，这样就可以在不影响生产效率的情况下缩小干燥设备的尺寸，从而节省空间和能源成本。
减少污染问题
在洁净室中，气体泄漏是一个大问题。哪怕空气中有一点点杂质，都可能引发问题。因此，我们必须使用高纯度的合成石英材料以及特定的卤素填充物，以确保没有金属污染物进入生产环境。这些红外灯能够在极高温度下工作，且不会导致石英外壳破裂，从而确保提供纯净的热源，避免晶圆表面出现颗粒物。
速度与精度的平衡
虽然UHP红外灯的加热速度很快，但这也意味着需要更加精确地控制输送带的速度以及晶圆与光源之间的距离。如果PID控制器设置不当，就可能导致晶圆边缘被烧毁。因此，要获得理想的加工效果，就需要格外小心地调整相关参数。
简化工艺流程
红外固化是一种干式处理方式，因此无需再依赖那些化学溶剂或含铅催化剂了。采用UHP红外灯后，就能彻底消除生产线中的有害物质，实现真正的零排放干燥工艺。