Di bilik proses pengeluaran wafer, kestabilan suhu bukanlah sesuatu yang boleh diabaikan – ia merupakan syarat penting dalam proses pengeluaran. Dalam proses pengeringan wafer dan pengendalian bahan fotoresist, perubahan suhu sebanyak beberapa persepuluh darjah Celsius pun boleh menyebabkan perubahan pada dimensi penting wafer, serta menimbulkan masalah seperti sisa-sisa bahan atau kecacatan pada permukaan wafer. Kami telah membangunkan sistem pemanas kriogenik untuk memastikan suhu tetap stabil di kawasan di mana wafer berada.
Apa yang penting dari segi teknikalnya
Kami menggunakan pemanas yang kompak, bersama-sama dengan teknologi inframerah gelombang pendek dan sistem kawalan yang responsif, untuk mencapai keseragaman suhu pada tahap wafer dalam lingkungan ±0.1°C. Reka bentuk termal ini dapat mengurangkan kesan negatif akibat perbezaan suhu, sekaligus memastikan kebolehulangan hasil pengeluaran yang konsisten. Ini sangat penting apabila jendela waktu pemanasan sangat sempit. Pemanas ini mampu berfungsi dengan stabil selama lebih dari 5,000 jam. Bahan-bahan yang digunakan serta cara penyambungannya direka agar dapat mengurangkan pembentukan zarah-zarah yang tidak diinginkan, sehingga pemanas ini sesuai digunakan di bilik bersih kelas 1–100.
Mengapa ia berkesan
Pemanas ini boleh digunakan bersama-sama dengan proses pengeringan wafer, proses pemanasan bahan fotoresist, dan proses pengerasan bahan tersebut. Ia membantu menstabilkan suhu di antara plat wafer dan komponen-komponen lain, sehingga suhu yang diinginkan dapat dicapai dengan cepat tanpa melebihi batas yang ditetapkan. Kelebihannya adalah kawalan dimensi wafer yang lebih baik, pengurangan jumlah wafer yang perlu diperbaiki, serta hasil pengeluaran yang lebih konsisten. Selain itu, penggunaan pemanas ini juga dapat menjimatkan tenaga, kerana tidak perlu ada proses pemulihan suhu secara berterusan. Selain itu, masa henti operasi juga dapat dikurangkan, kerana pemanas ini tidak menyebabkan pencemaran atau perubahan suhu yang tidak diinginkan.
Butiran praktikalnya
Pemanas ini boleh dipasang dalam modul kriogenik dan modul termal yang sedia ada. Namun, permukaan tempat pemasangan harus rata dan bersih. Kestabilan suhu bergantung pada ketepatan kompresi gasket serta kualiti antaramuka termal. Pastikan jadual kalibrasi pemanas diselaraskan dengan jadual penyelenggaraan pencegahan, dan pastikan kompatibiliti kuasa serta sistem kawalan dengan kontroler yang digunakan sebelum memasang pemanas tersebut.