저온 시스템용 보조 히터

팹 내에서는 온도의 안정성이 단순히 바람직한 요소가 아니라, 공정 자체의 핵심적인 요소입니다. 웨이퍼 건조나 포토레지스트 처리 시에는 단 몇 십 분의 일 도의 온도 변동만으로도 중요한 치수에 영향을 미치거나 잔여물이 남거나 표면 결함이 발생할 수 있습니다. 따라서 저...