휘발성 화학물질 주변에서 IR 히터를 안전하게 사용하는 방법 반도체 웨트벤치 공정을 다룬 경험이 있다면 잘 알고 있을 것입니다. 여기서는 강력한 세정제들을 다루게 되는데, 이러한 물질들은 인화성이 높으며, 최악의 경우에는 폭발할 수도 있습니다. 이제, 고온의 적외선...

반도체 생산 공정에서 발생할 수 있는 문제들에 대해 더 이상 걱정하지 마세요. 솔직히 말해서, 고부하 상태에서 적외선 램프가 파손되면 정말 큰 문제가 됩니다. 단순히 기계가 멈추는 것뿐만 아니라, 유리 조각과 할로겐 가스가 웨이퍼 위에 떨어지게 되죠. 아주 작은 금이...

도구 내부의 열 드리프트를 막는 방법 솔직히 말해서, 반도체 가공실의 내부를 가열하면서도 벽面이 손상되지 않도록 하는 것은 정말 어려운 일입니다. 전통적인 대류식 히터나 모든 방향으로 열을 방출하는 히터를 사용한다면, 결국 열이 곳곳에 퍼져나가게 됩니다. 그 결과 벽...

우리가 이 가열 요소를 만든 데에는 단 하나의 이유만 있습니다. 바로, 장시간 동안 오븐 내부 온도를 정확하게 유지하는 것입니다. 심지어 0.1도라는 아주 작은 오차까지도 말이죠. 웨이퍼 가공을 하는 사람이라면 잘 알고 있겠지만, 약간의 온도 변동만으로도 제품이 버려...

생산 현장에서는 트롤리 히터의 열 변동이 큰 문제로 인식되지 않습니다. 오히려 포토레지스트를 가열할 때 0.3°C 정도의 오차가 발생하며, 이로 인해 회선의 폭에도 오차가 생깁니다. 이러한 문제를 해결하기 위해 우리는 클린룸용 트롤리 히터를 설계할 때 열 변동을 프로...

리소그래피 작업장에서 소프트 베이크와 하드 베이크 사이에는 거의 조정 여유가 없다. 0.5도 정도의 온도 변동만으로도 포토레지스트 두께가 바뀌고, 크리티컬 디멘션 바이어스가 이동하여 결과적으로 수율이 사양에서 벗어나게 된다. 우리는 이 공정의 허용 오차를 줄이고 공정...