왜 우리는 대형 오븐 대신 적외선 치료 방식을 사용하는가?
반도체 공장들은 이제 그런 거대한 대류식 오븐과 그와 함께 사용되는 화학적 건조 과정을 버리고 있습니다. 모두가 적외선 치료 방식으로 전환하고 있습니다. 왜일까요? 그것은 생산 속도를 늦추지 않으면서도 “친환경적이고 납이 없는” 제품을 만들 수 있기 때문입니다.
에너지 낭비를 줄이다
일반적인 오븐의 작동 방식을 생각해보세요. 먼저 공기를 가열한 다음, 그 열로 웨이퍼를 가열합니다. 이는 비효율적인 과정입니다. 그 에너지의 대부분은 기계의 금속 프레임을 무의미하게 가열하는 데 사용됩니다. 적외선 치료 방식은 다릅니다. 전자기파를 사용하여 목표물에 직접 열을 전달합니다. 접착제나 포토레지스트가 흡수하는 파장을 정확하게 선택함으로써, 실제로 가열이 필요한 부분만을 가열할 수 있습니다. 게다가, 크고 복잡한 VOC 제거 시스템에 대한 걱정도 할 필요가 없습니다. 유해한 화학물질을 사용하지 않으므로 공기도 더 깨끗해집니다.
납이 없는 솔더링의 어려움
납이 없는 솔더링 방식으로 전환하는 것은 그리 간단한 일이 아닙니다. 더 높은 온도가 필요하며, 그 온도에 빠르게 도달해야 합니다. 적외선 치료 방식을 사용하면 몇 초 안에 최고 온도에 도달할 수 있습니다. 파장을 조절하기만 하면 됩니다. 단파는 표면 처리에 효과적이고, 중파는 더 깊은 곳까지 열을 전달합니다. 이를 통해 합금이 적절하게 가열되지만, 섬세한 실리콘 회로는 손상되지 않습니다.
단점도 있습니다 (항상 그렇듯이)
적외선 치료 방식은 매우 빠릅니다. 하지만 방향성이 있습니다. 그냥 램프를 웨이퍼 위에 올려놓기만 해서는 안 됩니다. 그러면 웨이퍼가 변형될 수 있습니다. 반사판의 형태와 정확한 거리를 잘 조절해야 합니다. 또 한 가지 팁: 냉각 시스템을 반드시 확인하세요. 만약 방사열을 처리할 수 있는 시스템이 아니라면, 공장 전체가 사우나처럼 뜨거워질 것입니다.
공간을 절약한다
가장 좋은 점은 바로 공간 절약입니다. 거대한 대류식 오븐을 적외선 치료 장치로 대체하면 상당한 공간을 절약할 수 있습니다. 하지만 진짜 장점은 시작 시간입니다. 더 이상 오븐이 안정될 때까지 2시간씩 기다릴 필요가 없습니다. 스위치를 켜면 램프가 켜지고, 곧바로 생산을 시작할 수 있습니다. 그렇게 간단합니다.