팹에서는 포토레지스트를 가열할 때 1°C의 온도 변동도 결코 ‘작은 오차’가 아닙니다. 이러한 오차는 회선의 너비 변화, 불순물 발생, 그리고 폐기물 증가로 이어집니다. 적외선 가열 방식은 매우 정밀할 수 있지만, 적외선 소스에 공급되는 전압이 충분히 안정적이어야 합니다. 저희는 이러한 제약 조건을 고려하여 적외선 전압 조절기를 설계했습니다.
기술적으로 중요한 점은 무엇인가? 웨이퍼 전체에 걸쳐 ±0.1°C 이내의 일정한 온도를 유지하기 위해, 적외선 입력 전력을 엄격한 허용 범위 내에서 일정하게 유지해야 합니다. 그래야만 선에 의한 온도 변동이 최고 온도에 영향을 주지 않습니다. 이 조절기는 클래스 1–100의 청정실 환경에서도 사용할 수 있으며, 입자 생성을 최소화하는 재료와 처리 공정을 사용합니다. 컨트롤러가 전압 변동을 사전에 보상하기 때문에, 소프트 베이크와 하드 베이크 과정도 반복 가능합니다. 따라서 24/7 연속 가동해도 온도 변동이 적으며, 수명도 길어집니다. 실제로 5,000시간 이상 작동해도 출력 감소율은 5% 미만입니다.
리소그래피 장비에서는 주기 시간, 수율, 청결도가 매우 중요합니다. 안정적인 적외선 전력은 가열 과정에서 생기는 불균일성으로 인한 재작업을 줄여주고, 정밀한 치수 유지에도 도움을 줍니다. 또한 과도한 전압 변동을 방지함으로써 에너지 낭비를 줄이고, 적외선 소스를 전압 스트레스로부터 보호함으로써 유지보수도 용이해집니다.
다음은 실용적인 세부 사항들입니다. 조절기를 적외선 소스와 일치시켜야 하며, 단파, 중파, 탄소 섬유 등의 소스에 맞게 조절해야 합니다. 또한 커넥터와 마운팅 크기도 장비의 인터페이스에 맞게 확인해야 합니다. 설정 과정도 간단합니다. 히트플레이트나 적외선 오븐의 열 질량에 맞게 PID 설정을 조정하기만 하면 됩니다. 습도가 높은 환경에서는 외부의 결로 현상을 방지하여 장기적인 안정성을 유지해야 합니다.