Nella fase di litografia, la fase di “bake” non rappresenta semplicemente un riscaldamento preliminare: essa serve infatti a definire il profilo del fotorestista. Un cambiamento di temperatura di 2°C durante questa fase può compromettere il controllo delle dimensioni critiche e causare problemi lungo tutta la linea di produzione. La lampada utilizzata per il “bake” ha un’unica funzione: mantenere una temperatura costante, minuto dopo minuto.
Cosa è importante nel funzionamento del sistema
Utilizziamo emettitori a onde infrarosse a breve lunghezza d’onda, racchiusi in un involucro di quarzo: questi emettitori reagiscono rapidamente e mantengono una stabilità elevata. Ciò permette di ottenere una uniformità termica elevata sul wafer, entro ±0,1°C, nonché una precisione nella temperatura di “bake” del fotorestista, fondamentale per mantenere sotto controllo i parametri termici del processo.
La compatibilità con ambienti di tipo Class 1–100 è garantita dalla progettazione stessa del sistema: vengono utilizzati materiali con basso livello di emissione di gas e sistemi per controllare la presenza di particelle. L’assenza totale di particelle non è solo un obiettivo teorico, ma una condizione fondamentale.
Il sistema funziona 24/7 senza interruzioni impreviste; la ripetibilità dei risultati è resa possibile grazie a un controllo a circuito chiuso che compensa le fluttuazioni di tensione e l’invecchiamento delle lampade.
Perché il sistema funziona bene in produzione
È necessario che la fase di “bake” sia conforme alle specifiche richieste dal processo produttivo, e non viceversa. La lampada stabilizza la zona di “bake”, permettendo così una rimozione efficace dei solventi e una corretta crosslinking del fotorestista. Il risultato è un miglior rendimento e meno scarti produttivi.
L’uso energetico diminuisce grazie alla velocità di reazione della lampada e al breve tempo di funzionamento. Inoltre, il minor numero di sostituzioni delle lampade riduce anche le attività di manutenzione nell’ambiente di produzione. Quando la temperatura non rappresenta più una variabile da controllare, diventa possibile ottimizzare ulteriormente il processo.
Cosa tenere a mente
L’installazione richiede che vengano rispettate le specifiche meccaniche e i segnali di controllo del dispositivo di spin coating. I kit per la sostituzione delle lampade variano in base alla piattaforma e al tipo di connettore utilizzato.
La lampada è sensibile al flusso d’aria di raffreddamento e alla gestione dei punti caldi; bisogna quindi mantenere il percorso dell’aria come specificato e pulire regolarmente il quarzo che avvolge la lampada. Dopo la sostituzione della lampada, è necessario lasciarla stabilizzarsi per un breve periodo prima di impostare la curva di “bake”.