Lampada di cottura per spolveratore a spin
Nella fase di litografia, la fase di “bake” non rappresenta semplicemente un riscaldamento preliminare: essa serve infatti a definire il profilo del...
Temperatura di preriscaldamento morbido del fotoresist _con IR
Sulla linea di litografia, il soft bake non è una semplice fase di riscaldamento. È il passaggio che definisce il profilo del solvente nel...