फैब्रिकेशन प्रक्रिया में, तापमान की स्थिरता कोई वैकल्पिक विशेषता नहीं है… बल्कि यही प्रक्रिया का अभिन्न हिस्सा है। वेफरों को सुखाने एवं फोटोरेजिस्ट को संभालने की प्रक्रिया में, चाहे तापमान में कुछ ही दशमलव डिग्री का अंतर हो, इससे महत्वपूर्ण आयामों में परिवर्तन हो सकता है; अवशेष बन सकते हैं, या वेफरों पर दोष भी हो सकते हैं। हमने ऐसे क्रायोजेनिक सिस्टम विकसित किए हैं, जो उस स्थान पर तापमान को स्थिर रखते हैं, जहाँ सब्सट्रेट प्रक्रिया से जुड़ता है।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हमने छोटे आकार के हीटरों का उपयोग किया है, जिनमें शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तकनीक एवं त्वरित प्रतिक्रिया वाले नियंत्रण तंत्र भी हैं… ताकि वेफरों पर तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहे। ऐसी डिज़ाइन व्यवस्था से कोल्ड-स्पॉट संबंधी समस्याओं से बचा जा सकता है… एवं प्रत्येक बार प्रक्रिया दोहराने पर भी तापमान स्थिर रहता है… जो कि तब बहुत ही आवश्यक है, जब बेकिंग प्रक्रिया का समय सीमित हो। हीटर 5,000+ घंटों तक स्थिर रहता है… एवं ऐसी सामग्रियों/जोड़ों का उपयोग किया गया है, जिससे कणों का उत्पादन कम हो… इसलिए यह क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में भी उपयोग किया जा सकता है।
यह क्यों कारगर है?
इस हीटर का उपयोग वेफरों को सुखाने, फोटोरेजिस्ट को संसाधित करने आदि प्रक्रियाओं में किया जा सकता है… इससे प्लेटन एवं चैम्बर के बीच का तापमान स्थिर रहता है… इसलिए लक्षित तापमान जल्दी ही प्राप्त हो जाता है… एवं उसे बनाए रखना भी आसान हो जाता है। इससे महत्वपूर्ण आयामों पर अधिक नियंत्रण होता है… वेफरों पर पुनर्कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है… एवं उत्पादन दर भी बेहतर रहती है। इसके अलावा, तापमान संबंधी समस्याओं से बचकर ऊर्जा भी बचती है… एवं हीटर से कोई प्रदूषण भी नहीं होता।
व्यावहारिक विवरण:
यह हीटर मौजूदा क्रायोजेनिक/थर्मल मॉड्यूलों में ही उपयोग में आ सकता है… लेकिन इसे लगाने हेतु सतह को समतल एवं स्वच्छ होना आवश्यक है… क्योंकि तापमान स्थिरता गैस्केटों के दबाव एवं थर्मल इंटरफेस की गुणवत्ता पर ही निर्भर है। कैलिब्रेशन की प्रक्रिया को आपकी निवारक रखरखाव योजना के अनुसार ही किया जाना चाहिए… एवं रिट्रॉफिट करने से पहले आपको अपने कंट्रोलर के साथ इस हीटर की संगतता की भी जाँच करनी होगी।