फैब्रिकेशन प्रक्रिया में, तापमान की स्थिरता कोई वैकल्पिक विशेषता नहीं है… बल्कि यही प्रक्रिया का अभिन्न हिस्सा है। वेफरों को सुखाने एवं फोटोरेजिस्ट...

वेफर फ़्लोर पर, फोटोरेसिस्ट बेक केवल एक तापमान चरण नहीं है—यह एक थर्मल अनुबंध है। 1°C का परिवर्तन सॉफ्ट बेक या हार्ड बेक में महत्वपूर्ण आयामों को...