फैब फ्लोर पर, सॉफ्ट बेक ओवन में 1°C का अंतर भी कोई मामूली बात नहीं है; यह तो उत्पादन दक्षता पर सीधा प्रभाव डालता है। वेफरों को सुखाने, फोटोरेसिस्ट को पहले गर्म करने, एवं एक्सपोजर के बाद उसे सुखाने जैसी प्रक्रियाओं में तापमान का नियंत्रण बहुत ही महत्वपूर्ण है। इसी कारण हमने चीन में ही हीटर निर्माण की सुविधाएँ स्थापित कीं – ताकि ऐसे शॉर्ट-वेव आईआर हीटर बन सकें, जो सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियाओं हेतु ही डिज़ाइन किए गए हों, न कि मार्केटिंग उद्देश्यों हेतु।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हमारे आईआर मॉड्यूल, वेफर पर ±0.1°C की स्थिर तापमान स्थिति प्रदान करते हैं; सेटपॉइंट की पुनरावृत्ति भी ±0.2°C के भीतर ही होती है। तेज़ तापमान वृद्धि दरें तापमान संबंधी समस्याओं को कम करती हैं, एवं शून्य कण उत्पन्न होने से क्लास 1–100 वाले वातावरण में कणों की संख्या स्थिर रहती है। क्वार्ट्ज-हेलोजन तत्व, स्थिर स्पेक्ट्रल आउटपुट प्रदान करते हैं; इससे फोटोरेसिस्ट का अवशोषण स्थिर रहता है। हीटर का डिज़ाइन वैक्यूम एवं निष्क्रिय गैसों के उपयोग हेतु भी उपयुक्त है। हम पावर डेंसिटी को सब्सट्रेट की ऊष्मा-क्षमता के आधार पर ही निर्धारित करते हैं… न कि हीटर के आकार के आधार पर।
व्यावहारिक रूप से यह क्यों कारगर है?
लिथोग्राफी प्रक्रियाओं में, सॉफ्ट बेक तापमान, फोटोरेसिस्ट की चिपचिपाहट एवं फिल्म की मोटाई को सीधे प्रभावित करता है। हमारे आईआर हीटर, इस पैरामीटर को नियंत्रित करने में मदद करते हैं… जिससे CD में होने वाले उतार-चढ़ाव एवं अन्य समस्याएँ कम हो जाती हैं। वेफरों को सुखाने हेतु तेज़ एवं समान तापमान, पैटर्नों में कोई विकृति न होने में मदद करता है। चूँकि आईआर हीटर, चेंबर की दीवारों के बजाय सीधे वेफर को ही गर्म करता है, इसलिए ऊर्जा की खपत कम हो जाती है। ऐसे हीटर 24/7 काम कर सकते हैं… एवं उनकी रखरखाव लागत भी कम है। फील्ड डेटा के अनुसार, 5,000+ घंटों तक इन हीटरों का उपयोग करने पर भी उनके आउटपुट में 5% से भी कम बदलाव होता है।
आपको क्या योजना बनानी होगी?
इन हीटरों हेतु एक विशेष, नियंत्रित ऊर्जा-स्रोत आवश्यक है… साथ ही प्रत्येक प्रक्रिया-स्तर हेतु सटीक एमिसिविटी कैलिब्रेशन भी आवश्यक है। इन हीटरों को पुराने ओवनों में भी इस्तेमाल किया जा सकता है… लेकिन ऊष्मा-क्षमता में कोई बदलाव होने पर तापमान-वक्र को सही रखने हेतु थोड़ा समय आवश्यक होगा। पायलट चरण में जाने से पहले, 100 घंटों तक हीटरों का परीक्षण करना आवश्यक है।