फैब फ्लोर पर, ट्रॉली हीटर में होने वाला थर्मल ड्रिफ्ट कोई गंभीर समस्या नहीं माना जाता। ऐसी स्थिति में तापमान में 0.3°C की वृद्धि होती है… और इसके कारण लाइन-विड्थ में भी बदलाव होता है। हमने अपने क्लीनरूम ट्रॉली हीटरों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि तापमान नियंत्रित रहे… यानी प्रक्रिया-विंडो के भीतर ही रहे।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हम क्वार्ट्ज आवरण में शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तत्वों का उपयोग करते हैं… ऐसा करने से प्रतिक्रिया तेज़ होती है, एवं थर्मल मास कम रहता है। वर्क ज़ोन में, वेफरों का तापमान ±0.1°C की सीमा में ही रहता है… 50°C से 300°C तक। यह मापन कैलिब्रेटेड थर्मोकपलों के द्वारा किया जाता है। नियंत्रण बंद-लूप प्रणाली द्वारा किया जाता है… जिससे शिफ्ट-से-शिफ्ट तापमान में व्यवधान ±0.2°C से भी कम रहता है।
हीटर का शरीर स्टेनलेस स्टील से बना है… एवं इसके सीमों को अच्छी तरह सील किया गया है। एयरफ्लो पथों को ऐसे ही डिज़ाइन किया गया है कि कणों का निकलना कम हो। क्लीनरूम क्लास 1–100 के मानकों का पालन नियमित कण-परीक्षणों द्वारा किया जाता है।
वास्तविक कार्यों में यह कैसे कार्य करता है?
वेफरों को सुखाने/साफ करने में, हीटर ओस-बिंदु को स्थिर रखता है… इससे पानी का निष्कासन सुचारू रूप से होता है… बिना किसी थर्मल शॉक के। लिथोग्राफी में, यही स्थिरता “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाओं में भी उपयोगी है… जिससे अवशिष्ट विलायकों का व्यवधान कम होता है।
पैकेजिंग प्रक्रिया में, तेज़ तापमान-वृद्धि से ओवन में रहने का समय कम हो जाता है… एवं ग्लास-ट्रांज़िशन तापमान भी नियंत्रित रहता है। ऊर्जा-खपत को ड्यूटी-साइकल ऑप्टिमाइज़ेशन द्वारा नियंत्रित किया जाता है… जिससे अपशिष्ट एवं पुनर्कार्य कम होता है।
क्या योजना बनाने की आवश्यकता है?
स्थापना हेतु, आवश्यक वोल्टेज एवं पर्याप्त एम्पीयर उपलब्ध होना आवश्यक है… साथ ही यूनिट को ऐसी जगह रखना आवश्यक है कि एयरफ्लो संतुलित रहे। स्वच्छ, पहले से गर्म कमरे में ही हीटर की प्रतिक्रिया सबसे तेज़ होती है… यदि ठंडे कैरियरों का उपयोग किया जाए, तो नियंत्रण-लूप स्थिर होने में समय लगेगा।
सेटपॉइंटों को वास्तविक वेफरों एवं कैरियरों के आधार पर ही निर्धारित करना आवश्यक है।