लिथोग्राफी प्रक्रिया में, आपको पता ही होगा कि सॉफ्ट बेक या हार्ड बेक के दौरान वेफर पर आधे डिग्री का भी विचलन होने से ओवरले मार्जिन एवं लाइन-विड्थ...

लिथोग्राफी प्रक्रिया में, सॉफ्ट बेकिंग के दौरान आधे डिग्री का भी अंतर, क्रिटिकल डाइमेंशन को नैनोमीटर स्तर पर प्रभावित कर सकता है। ऐसा अंतर,...