Trên mặt phẳng wafer, việc nướng photoresist không chỉ là một bước nhiệt độ—mà còn là một hợp đồng nhiệt. Sự trôi 1°C trong quá trình nướng mềm hoặc nướng cứng sẽ làm thay đổi kích thước quan trọng và ảnh hưởng đến năng suất sản xuất. Chúng tôi đã xây dựng đèn hồng ngoại hỗ trợ molybdenum để giữ cho đường nhiệt ổn định, qua từng chu kỳ.
Những điều quan trọng về mặt kỹ thuật
Bộ phát hoạt động ở sóng hồng ngoại ngắn để gia nhiệt nhanh, có hướng mà vẫn nằm trong ngân sách nhiệt của photoresist. Cấu trúc hỗ trợ molybdenum giữ sự ổn định ở nhiệt độ cao với lượng khí thải thấp, do đó số lượng hạt bụi vẫn giữ ở mức thấp ngay cả trong các phòng sạch Class 1–100. Hệ thống này nhắm đến sự đồng nhất ở mức wafer trong khoảng ±0.1°C trên bề mặt nướng, và độ lặp lại được chỉ định để giữ điểm thiết lập luôn chặt chẽ. Đầu ra giữ ổn định trong các chu kỳ dài—các đơn vị thực địa đã tích lũy hơn 5,000 giờ với mức giảm dưới 5%.
Đây là lý do tại sao nó hoạt động trong thực tế: quy trình photoresist là nơi kiểm soát nhiệt độ trở thành kiểm soát năng suất. Đèn này giữ cho các hồ sơ nướng mềm và nướng cứng nhất quán, giúp giảm thiểu tình trạng scumming, footing và biến động dung môi còn lại.
Lợi ích là ít lô tái chế hơn, ít phế liệu hơn, và hiệu suất CD mà bạn có thể tin cậy qua quá trình lithography. Một hồ sơ nhiệt độ ổn định cũng giúp bạn thực hiện các khoảng quy trình chặt chẽ hơn, và cấu trúc tương thích với phòng sạch giảm thiểu các sự kiện ô nhiễm làm dừng dây chuyền.
Một vài điều cần nhớ. Việc lắp đặt có nghĩa là khớp kích thước đèn và giao diện điện với đường nướng hoặc đĩa nóng. Vỏ thạch anh cần được xử lý và che chắn cẩn thận—dễ bị vỡ nếu bạn không chú ý trong quá trình bảo trì.
Lập kế hoạch quy trình xử lý đã được cấp chứng nhận phòng sạch và kiểm tra lại rằng ngân sách nhiệt của bạn và thời gian chu kỳ phù hợp với giới hạn tốc độ tăng nhiệt của đèn.