Trong quy trình sản xuất, việc duy trì độ ổn định về nhiệt độ không phải là điều khả thi mà là yêu cầu bắt buộc. Trong quá trình sấy wafer và xử lý...

Trên mặt phẳng wafer, việc nướng photoresist không chỉ là một bước nhiệt độ—mà còn là một hợp đồng nhiệt. Sự trôi 1°C trong quá trình nướng mềm hoặc...