หยุดการให้ความร้อนกับเครื่องจักร แล้วเริ่มกระบวนการทำให้แผ่นWaferแห้งแทน หากคุณเคยทำงานด้านการผลิต MEMS มาก่อน...

บนชั้นลิโธกราฟี จะไม่มีพื้นที่คลาดเคลื่อนมากนักระหว่างการอบแบบซอฟต์เบคและฮาร์ดเบค...