
Het juiste temperatuurniveau voor siliciumwafers bereiken (zonder energie te verspillen)
Wanneer je te maken hebt met een reinigingsproces voor siliciumwafers, moet je een goede balans vinden. De oppervlakte moet droog en heet zijn, maar je wilt niet dat de hele ruimte verandert in een oven of dat je te veel energie verbruikt.
We lossen dit op door waterdichte IR-lampen te combineren met reflectoren die bedekt zijn met goud. Hier is waarom dat belangrijk is.
Waarom goud?
De meeste mensen gebruiken aluminiumreflectoren. Die zijn natuurlijk goedkoop. Maar aluminium neemt veel van de infrarode energie op, in plaats van deze naar waar nodig te sturen.
Wij gebruiken goud omdat het uitstekend is in het weerspiegelen van nabij-infrarood licht. Het gaat hier niet om esthetiek, maar om de fotonen. Goud stuurt veel meer fotonen terug richting de wafer, waardoor er een betere concentratie van warmte wordt bereikt.
Het resultaat? De wafer bereikt het gewenste temperatuurniveau sneller, en je gebruikt minder energie om dit te bereiken. Het is efficiënt. Simpel gezegd.
Omgaan met de hitte
Deze lampen zijn ontworpen om te werken in een vochtige en rommelige omgeving. Door de straling te concentreren, voorkomen we dat er ongewenste warmte in het apparaat terechtkomt. Je krijgt zo een geconcentreerde straal warmte die precies op de juiste plek terechtkomt.
Eerlijk gezegd: goud is niet goedkoop. Je initiële kosten zullen hoger zijn dan wanneer je aluminiumreflectoren gebruikt. Je moet beslissen of de kortere cyclustijden en lagere energiekosten de extra kosten waard zijn. Meestal wel.
Het apparaat in stand houden
Het beste aan deze lampen is dat ze gemakkelijk kunnen worden vervangen. Ze passen perfect in je bestaande IR-apparaat. We hebben er voor gezorgd dat de sluitingen aardgasvrij zijn, zodat reinigingsmiddelen niet in het apparaat terechtkomen en de lampen beschadigen.
Een tip: als je koelsysteem niet bestand is tegen de extra hitte, kan het zijn dat de temperatuur plotseling stijgt. Houd de PID-controllers goed in de gaten.
En doe jezelf een plezier: controleer de reflectoren om de vier maanden. Als er vuil of andere deeltjes op de reflectoren blijven zitten, neemt hun reflectievermogen af. De lampen moeten dan harder werken om dit compenseren, waardoor ze sneller slijten. Houd ze schoon, dan blijven ze lang goed functioneren.