와이어를 적절한 온도로 가열하는 방법 (에너지 낭비 없이)
실리콘 웨이퍼를 세척할 때는 균형을 잡는 것이 중요합니다. 표면이 건조하고 따뜻해야 하지만, 전체 챔버를 오븐처럼 만들거나 과도한 에너지를 사용하고 싶지는 않습니다.
이 문제를 해결하기 위해 우리는 방수 기능이 있는 IR 램프와 금으로 코팅된 반사판을 함께 사용합니다. 그 이유는 다음과 같습니다.
왜 금인가?
대부분의 사람들은 알루미늄 반사판을 사용합니다. 비용이 저렴하긴 하지만, 알루미늄은 적외선 에너지를 흡수해버립니다. 반면 금은 근적외선을 효과적으로 반사합니다. 이는 단순히 외관상의 문제가 아니라, 광자들을 웨이퍼 쪽으로 더 많이 보내기 위함입니다. 그 결과 웨이퍼가 목표 온도에 더 빨리 도달하며, 필요한 에너지도 줄어듭니다. 효율적이죠.
열 문제 해결
이러한 램프들은 습하고 지저분한 환경에서도 문제없이 작동할 수 있도록 설계되었습니다. 방사능을 집중시킴으로써, 기계 내부로 열이 새어 나가는 것을 막을 수 있습니다. 그 결과 웨이퍼에 정확하게 열이 전달됩니다.
물론 금은 저렴하지 않습니다. 초기 비용은 알루미늄을 사용할 때보다 높을 것입니다. 하지만 더 빠른 처리 속도와 낮은 에너지 비용이 그만한 가치가 있는지 고려해보세요. 보통은 그렇습니다.
장비의 성능 유지
가장 좋은 점은 이 램프들이 기존의 IR 장비와 호환된다는 것입니다. 밀폐형 구조로 되어 있어 세척제가 램프 안으로 들어가서 램프를 손상시키는 것을 막습니다.
한 가지 주의할 점은, 웨이퍼 부분에 과도한 열이 가해질 경우 온도가 급격히 상승할 수 있다는 것입니다. PID 제어 시스템을 주의 깊게 관리해야 합니다.
그리고 반사판도 분기마다 점검해주는 것이 좋습니다. 오염물질이 쌓이면 반사율이 떨어지고, 램프는 더 많은 에너지를 사용해야 합니다. 그러면 램프의 수명이 단축됩니다. 반사판을 깨끗하게 유지하면 오래 사용할 수 있습니다.