製造現場において、温度の安定性は単なる望ましい条件ではなく、プロセスを円滑に進めるための不可欠な要素です。ウエハの乾燥やフォトレジストの取り扱いにおいては、わずか数十分の1度程度の温度変動でも、重要な寸法に影響を与えたり、残留物が残ったり、表面に欠陥が生じたりします。そこで、私たちは、基板が処理さ...

夜間の冷たい空気が厳しくなってくると、商業用のテラスや作業場を空っぽにしたくはありません。暑さが急に訪れると、人々は自分が立っている場所や座っている場所に留まります。上の方にいるわけではありません。私たちはこれを単なる供給作業とは見なしません。むしろ、インフラレッドヒーターを使う際と同じように、適...

リソグラフィー工程において、ソフトベイクの際に半度程度のずれがあっただけで、パターンの寸法はナノメートル単位で変化してしまいます。このようなずれは、再作業や廃棄処理、そして規格範囲を逸脱する結果を招きます。私たちは、熱的特性を安定させるために、フォトレジストを加熱するランプを特別に設計しました。...

製造現場では、トロリーヒーターの熱変動は大きな問題としては扱われません。それは、フォトレジストを焼成する際に0.3℃程度の偏差として現れるだけです。そして、その結果、ウェーハの線幅にも偏差が生じ、それを解消するのに1週間もかかってしまいます。私たちは、クリーンルーム用のトロリーヒーターを設計する際...

実際の工程においては、フォトレジストは理論など気にしません。90℃で行うソフトベイクの際、温度が0.5度だけ変動しても、ウェーハ全体の厚みにばらつきが生じます。その結果、露光の精度が低下します。その代償として、スクラップや再工程が発生し、設備の稼働効率も悪くなります。 技術的に重要な点は何か？ 私...

エネルギー価格は上昇し続けており、エアコンの温度設定を1度変えるだけでも大変な労力が必要になります。私たちが望むのは、体を包み込むような暖かさであり、メーターが回っているのを見る必要はありません。そんな時に役立つのが赤外線WiFiヒーターです。必要な場所、必要な時に、的確に温かさを届けてくれます。...

製造現場では、温度というのは快適さを保つためのものではなく、プロセス自体を安定させるための要素です。ウェーハの表面でわずか数十分の1度程度の温度変動があっても、エピタキシャル層の厚みが変わったり、ドーピングプロファイルが乱れたりして、一連の製造工程が台無しになってしまいます。GaN MOCVDヒー...

熱いシャワーから出て、冷たい床の上に立つと、単に不快なだけでなく、肩がこってストレスも増します。バスルームでは、寒さだけが問題ではありません。湿気や、熱が追いつかない状況も問題です。ヒーターが湿った空気に対応していない場合、信頼性が低下し、安全性も疑わしくなります。 技術的に重要な点 このハンドウ...

製造現場において、フォトレジストの焼成時に1°Cの温度変動があっても、それは「わずかな偏差」とは言えません。その結果、線幅のばらつきや不良品が発生します。IR加熱は精密に制御可能ですが、そのためにはIR光源に供給される電圧が十分に安定している必要があります。私たちは、この制約条件を満たすようにIR...

私たちの研究開発施設に足を踏み入れると、エンジニアたちがスペクトル出力を調整しながら、テストチャンバーが繰り返し動作している音が聞こえます。私たちがこの施設を作ったのは、快適さというのは単なる推測ではなく、定量的に測定し、再現し、確認するものだからです。もし中国の電気ヒーターの供給業者から商品を購...

ファブ内では、ソフトベイクオーブンの温度が1℃でも変動すると、それは単なる些細な問題ではありません。それは製品の歩留まりに悪影響を与えます。ウェーハの乾燥やフォトレジストの事前加熱、露光後の硬化処理などは、すべて厳格な温度管理の下で行われます。だからこそ、私たちは中国に加熱装置の生産拠点を設置した...

ファブの現場では、フォトレジストの焼成時に0.5℃の温度変動があるだけで、多くの製品が廃棄されてしまいます。信頼できる温度制御が必要であり、推測に頼るわけにはいきません。私たちは、TEL規格に対応するヒーターランプを開発しました。このランプは、ナノメートル単位で精度よく温度制御が可能で、プロセスの...

狭いアパートでは、床面積が限られており騒音も問題となる。音を立てるファンやクリック音、強風を放つ大型のヒーターは、快適な室内空間を乱してしまう。効果的なのは、空気全体ではなく人や物体の表面を直接温めることだ。 本質的なポイント 当社の壁掛け型赤外線ヒーターは、クォーツチューブ素子を中心に構成されて...

ウェーハがスピントラックに到達し、時計が動き始める。ライン上では、1分間の温度変動がクリティカルディメンションを変化させるのに十分であり、1つの粒子が全ロットを無効にする可能性がある。古いドライヤーは300 mm全体で均一性を保つことができず、クリーンさも維持できなかった。我々はその変動を排除する...

パティオヒーターの下にいて、腕は温かいのに足元が冷えることはありませんか？その温度差は通常ヒーター自体の問題ではありません。原因は高さと角度にあります。赤外線の温かさは方向性があるため、設置場所によって快適に感じるか、サーモスタットを追いかけ続けるかが決まります。 技術的に重要なこと 当社は12V...