טמפרטורת אפייה רכה של הפוטורזיסט IR

בקומת הליתוגרפיה, אפיית ריכוך (soft bake) איננה סתם חימום מקדים. זהו השלב שמגדיר את פרופיל הממס בפוטורזיסט, מקבע את עובי הסרט, וכותב את סבילות המידות...