חיממן לייבוש שבבי חיישני MEMS
חדלו לחמם את המכונה – התחילו לייבש את הוופר.
אם עבדתם אי פעם בייצור של MEMS, אתם יודעים עד כמה קשה לייבש את הוופרים. צריך להילחם כל הזמן בשאריות...
מנורת ייבוש למחצבים אורגניים
בקומת הליתוגרפיה, אין הרבה מרווח תמרון בין אפיית רכה לאפיית קשה. סטייה של חצי מעלה יכולה לשנות את עובי הפוטורזיסט, להזיז את סטיית הממד הקריטי, ולגרום...