בחדרי ה�יצור, ערך ההגדרה של התנור הוא רק מספר על המסך. התהליך האמיתי הוא זה שקורה בפועל, מקצה לקצה, בכל שטח הווופר. אם האחידות התרמית נפגעת, שליטה ברוחב החריטה נפגעת גם היא.
מה חשוב מבחינה טכנית
פיתחנו שיטת חימום זו על בסיס שליטה בטמפרטורה ברמת הווופר, עם אחידות של ±0.1°C. כך, תהליכי החימום השונים מתבצעים באופן אחיד, בכל שטח הווופר. קרינת אינפרא-אדום בגלים קצרים ובינוניים, המועברת דרך חומרים כמו קוורץ וסיבי פחמן, מאפשרת עלייה מהירה ויציבה בטמפרטורה, מבלי לפגוע באיכות החימום.
המערכת פועלת בחדרי ייצור מסוג Class 1–100, ואזור החימום מעוצב כך שיופחתו גורמי הזיהום – בדיוק במקומות שבהם נדרשת אחידות גבוהה בתהליכי הליתוגרפיה. האחידות בתהליכי החימום נשמרת על ידי מעגלי בקרה איכותיים – ערכי ההגדרה נשמרים, והשינויים בין סיבובים שונים נשארים מינימליים.
למה זה חשוב בליתוגרפיה
בתהליכי ליתוגרפיה, רמת הדיוק הזו מבטיחה שהפוטורזיסט יתנהג באופן צפוי במהלך תהליכי החימום, כך שהפגמים פוחתים ואיכות הווופרים המעוצבים משתפרת. התגובה של המערכת מהירה ומבוקרת, כך שניתן לקצר את זמן החימום מבלי לפגוע באיכות התהליך – דבר חשוב כאשר רוצים להשתמש בטכנולוגיות מתקדמות יותר.
בנוסף, יש צורך בשימוש בפחות אנרגיה, בזכות החימום היעיל והצורך המופחת בתיקונים. מבחינת זמן הפעולה, המערכת מאופיינת במעקב יעיל ובמנגנוני קירור איכותיים, כדי למנוע זמני עצירה בלתי צפויים.
מה צריך לקחת בחשבון
האינטגרציה של המערכת תלויה בהתאמת אזור החימום לתנור שלכם – חיבורים, מערכות פליטה ועוד. יש לצפות לתקופת אינטגרציה שבה ניתן יהיה לשנות את קצבי החימום וזמני החימום לפי סוג הפוטורזיסט שבשימוש.
בנוסף, המערכת זקוקה למתח חשמלי יציב ולמערכות קירור איכותיות. אם האספקה החשמלית באזורכם אינה יציבה, עדיף להשתמש בקו חשמל נפרד, כדי לשמור על אחידות של ±0.1°C לאורך כל הזמן.