מנורת אפייה למכשיר למריחת שכבות

בחדר הליתוגרפיה, תהליך האפייה אינו נועד לחימום בלבד – הוא אמור לקבוע את הפרופיל של הפוטורזיסט. שינוי של 2°C בטמפרטורת האפייה עלול לפגוע בשליטה בממדים...