در فرآیند لیتوگرافی، هدف از استفاده از حرارت، گرم کردن مواد نیست؛ بلکه هدف، تنظیم پروفایل رفتار مواد فوتورزیست است.
هرگونه تغییر ۲ درجه سانتیگرادی در دمای حرارت، میتواند باعث اختلال در کنترل ابعاد محصول شود و لکههایی روی سطح محصول ایجاد کند. لامپ مورد استفاده برای حرارت دادن مواد، تنها یک وظیفه دارد: حفظ دمای ثابت در طول زمان.
چه چیزهایی اهمیت دارد؟
ما از منابع نوری اینفرارد با طول موج کوتاه در پوشش کوارتزی استفاده میکنیم؛ زیرا این منابع نوری سریع پاسخ میدهند و پایداری خوبی دارند. این امر باعث ایجاد یکنواختی دمایی در سطح ویفر، در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد، میشود؛ همچنین دقت دمایی لازم برای فرآیند حرارت دادن مواد فوتورزیست نیز حفظ میشود.
سازگاری این سیستم با استانداردهای اتاقهای پاک، از همان ابتدا در طراحی آن لحاظ شده است؛ یعنی از موادی استفاده شده که گاز کمی تولید میکنند و مسیر جریان هوا نیز کنترل شده است. عدم تولید هیچ ذرهای، یک اصل اساسی است.
این سیستم به صورت ۲۴/۷ کار میکند و بدون هیچ توقفی عمل میکند؛ قابلیت تکرارپذیری این سیستم نیز به دلیل کنترل خودکار، حاصل میشود.
چرا این سیستم در تولید موفق عمل میکند؟
برای اینکه فرآیند تولید موفق باشد، باید دمای حرارت متناسب با دستورالعملهای مشخص شده باشد؛ این لامپ، منطقه حرارت دادن مواد را تثبیت میکند؛ در نتیجه، فرآیندهای حرارت دادن به طور یکنواخت انجام شده و مواد فوتورزیست به خوبی پردازش میشوند. این امر منجر به بهبود بازدهی تولید و کاهش مواد باکیفیت پایین میشود.
مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا پاسخ سیستم سریع است و زمان استفاده از لامپ نیز کوتاه است. همچنین، تعویض کمتر لامپ، به معنای کاهش هزینههای نگهداری در اتاقهای پاک است. وقتی که دما دیگر یک متغیر پیچیده نباشد، فرآیند تولید بهتر خواهد بود.
چه چیزهایی را باید در نظر گرفت؟
نصب این سیستم، به تطبیق سیگنالهای کنترلی و رابطهای مکانیکی سیستم مربوط میشود؛ کیتهای تعمیراتی نیز بسته به نوع پلتفرم و کانکتور، متفاوت هستند.
لامپ نیز حساس به جریان هوای خنککننده و مدیریت نقاط گرم است؛ بنابراین، مسیر جریان هوا باید طبق دستورالعملهای مشخص شده باشد و کوارتز نیز باید به طور منظم تمیز شود. پس از تعویض لامپ، باید مدت کوتاهی صبر کرد تا لامپ به حالت تعادل برسد، سپس میتوان دمای مورد نظر را تنظیم کرد.