در فرآیند لیتوگرافی، هدف از استفاده از حرارت، گرم کردن مواد نیست؛ بلکه هدف، تنظیم پروفایل رفتار مواد فوتورزیست است. هرگونه تغییر ۲ درجه سانتی‌گرادی...

در سالن لیتوگرافی، سافت بیک مرحله‌ای برای گرم کردن اولیه نیست. این مرحله تعیین‌کننده پروفایل حلال فوتورزیست، تثبیت ضخامت فیلم و ثبت تلرانس‌های ابعادی...