در کف ویفر، یک پخت فتو رزین تنها یک مرحله دما نیست—این یک قرارداد حرارتی است. یک تغییر دما به اندازه ۱ درجه سانتیگراد در پخت نرم یا پخت سخت میتواند ابعاد بحرانی را جابهجا کرده و بازده خط تولید را تحت تأثیر قرار دهد. ما لامپ مادون قرمز با پشتیبانی مولیبدن را ساختهایم تا خط حرارتی را ثابت نگه دارد، چرخه به چرخه.
آنچه از نظر فنی مهم است این منبع، مادون قرمز با طول موج کوتاه را برای گرم کردن سریع و جهتدار به کار میبرد که در محدوده حرارتی فتو رزین باقی میماند. ساختارهای پشتیبانی مولیبدن ثبات دما در دماهای بالا را با خروجی کم گاز حفظ میکنند، بنابراین شمار ذرات حتی در اتاقهای تمیز کلاس ۱ تا ۱۰۰ نیز پایین باقی میماند. این سیستم هدفگذاری یکنواختی در سطح ویفر با ±۰.۱ درجه سانتیگراد در سطح پخت را دارد و تکرارپذیری به گونهای طراحی شده است که نقطه تنظیم را به دقت نگه دارد. خروجی در طول دورههای طولانی پایدار میماند—واحدهای میدانی بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار کردهاند با کاهش کمتر از ۵ درصد.
دلیل کارایی آن در عمل این است: پردازش فتو رزین جایی است که کنترل حرارتی به کنترل بازده تبدیل میشود. این لامپ پروفایلهای پخت نرم و پخت سخت را ثابت نگه میدارد، که منجر به کاهش کثیفی، قاعدهگذاری و نوسانات حلال باقیمانده میشود.
نتیجه این است که تعداد کمتری از دستههای بازسازی، زباله کمتر و عملکرد CDای که میتوانید در لیتوگرافی به آن اعتماد کنید، خواهید داشت. یک پروفایل دما پایدار همچنین به شما کمک میکند که پنجرههای فرآیند را تنگتر اجرا کنید و ساختار سازگار با اتاق تمیز، رویدادهای آلودگی که خط تولید را متوقف میکند، کاهش میدهد.
چند نکته برای در نظر گرفتن وجود دارد. نصب به معنای تطبیق ابعاد لامپ و رابط الکتریکی با مسیر پخت یا صفحه داغ است. محفظه کوارتز نیاز به نگهداری و حفاظتی دقیق دارد—به راحتی میتواند در صورت عدم دقت در طی نگهداری شکسته شود.
برنامهریزی برای رویههای نگهداری با استاندارد اتاق تمیز و دوباره بررسی اینکه آیا بودجه حرارتی و زمان چرخه شما با محدودیتهای نرخ افزایش لامپ هماهنگ است، ضروری است.