Im Bereich der Lithografie gilt folgendes Prinzip: Eine Abweichung von einem halben Grad während des Weich- oder Hartbrennvorgangs führt dazu, dass die Kontrolle über die Dicke der Schichten sowie die Genauigkeit der Linien beeinträchtigt wird. Allein die Einstellungen reichen nicht aus, um eine gute Qualität zu gewährleisten. Man benötigt vielmehr eine zuverlässige Wärmeverteilung – von Zyklus zu Zyklus.
Was technisch wichtig ist: Unsere Infrarotlampen für die Aushärtung des Photoresists sorgen dafür, dass die Temperatur auf der Waferoberfläche innerhalb von ±0,1°C konstant bleibt. Zudem ermöglichen sie eine schnelle Erhitzung der Wafer, wodurch der Wärmeverbrauch minimiert wird. Das NIR-Spektrum wird gewählt, damit die Wärme effektiv ins Material eindringt, ohne dabei Stress auf dem Substrat entstehen zu lassen. Der Lampenkörper sowie die Optik sind so gestaltet, dass sie mit Reinräumen der Klassen 1–100 kompatibel sind. Die Erzeugung von Partikeln wird durch die Materialien, die Geometrie sowie die Luftströmungen vermieden. Dadurch werden wiederholbare Brennprofile erzielt, eine stabile Leistung über 5.000 Stunden hinweg sowie eine Prozesskontrolle, die rund um die Uhr möglich ist.
Warum es in der Praxis funktioniert: Beim Verarbeiten von Photoresist legt der Brennvorgang den Rahmen für die Belichtung und Entwicklung fest. Die Infrarotlampen verkürzen die Zeit bis zur Erreichen der gewünschten Temperatur, verringern die thermischen Verzögerungen und sorgen dafür, dass die Temperatur auf der ganzen Waferoberfläche konstant bleibt. Dadurch entstehen weniger Rückarbeitsbedarf und weniger Abfall. Zudem wird eine konstante Qualität der Ergebnisse gewährleistet. Der Energieverbrauch sinkt, da die Wärme genau dort bereitgestellt wird, wo sie benötigt wird. Die Zuverlässigkeit zeigt sich darin, dass unplanmäßige Stillstände vermieden werden, sobald die thermische Stabilität gewährleistet ist.
Was man beachten sollte: Bei der Installation müssen die Abmessungen der Lampe sowie der Anschlusstyp mit denen des Lackier-/Brennmoduls übereinstimmen. Die Integrationstoleranzen sind gering, und die Ausrichtung der Lampe hat direkten Einfluss auf die Gleichmäßigkeit der Temperaturverteilung. Die Lampe funktioniert am besten, wenn die Abzugssysteme und Kühlwege im Behälter der Konstruktion entsprechen – Abweichungen können dazu führen, dass das Profil verändert wird und das Risiko von Partikeln zunimmt. Führen Sie daher zuerst eine kurze Qualifizierungsprüfung durch, bevor Sie den Prozess in großem Maßstab anwenden.