Auf der Herstellungsebene reicht bereits eine Temperaturänderung von 0,5 °C während des Trocknungsprozesses aus, um ganze Chargen Produktionsware zu ruinieren. Man braucht daher eine zuverlässige Heizquelle – keine ungenauen Schätzungen. Wir haben eine mit TEL-kompatiblen Heizelementen ausgestattete Lampe entwickelt, die problemlos funktioniert und eine präzise Temperaturregelung ermöglicht – besonders wichtig, wenn die Prozessbedingungen in Nanometern angegeben werden.
Was steckt dahinter?
Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotelemente sowie hochreine Quarzkomponenten. Dadurch wird eine schnelle Reaktion erreicht, ohne dass zusätzlicher Lärm im Prozess entsteht. Auf der gesamten Oberfläche der Wafer bleibt die Temperaturkonstanz bei ±0,1 °C – das ist ideal für Prozesse, bei denen strenge thermische Bedingungen gelten müssen.
Die Leistung der Lampe bleibt über 5.000 Stunden hinweg stabil, wobei der Lichtstrom nur um weniger als 5 % abnimmt. Die Lampe funktioniert mit Standardspannungen, passt zu gängigen Lampenmodulen und erfüllt die Anforderungen von Reinräumen der Klassen 1–100 hinsichtlich der Partikelbelastung.
Warum ist das in der Lithografie wichtig?
Bei der Lithografie ist die Trocknungstemperatur entscheidend für die Kontrolle der CD-Struktur sowie für die Menge an Defekten. Diese Lampe sorgt dafür, dass das thermische Profil von Charge zu Charge konstant bleibt – dadurch wird die Anzahl der Nacharbeiten reduziert und die Ausbeute verbessert. Die Effizienz ergibt sich aus einer guten Infrarotkoppelung sowie niedrigen Standby-Verlusten. Zudem verringert die lange Lebensdauer der Lampe die Notwendigkeit für Ersatzteile und Wartungsarbeiten. Das Ergebnis sind zuverlässige Prozesse, weniger Störungen während des Betriebs sowie ein vorhersehbares Verhalten des Fotolithografiemittels.
Was müssen Sie richtig machen?
Bei der Installation muss man zunächst die mechanischen Anschlüsse sowie die Steckpin-Beschaltung des Lampenmoduls anpassen. Danach muss der optische Weg so angepasst werden, dass die Temperaturkonstanz gewährleistet bleibt. Die Lampe ist eine zertifizierte Alternative für bestimmte TEL-Plattformen. Bevor man sie einsetzt, sollte man jedoch die Geometrie des Behälters sowie die Steuerungssoftware überprüfen, damit die Kompatibilität gewährleistet ist.