Die richtige Temperatur für die Siliziumwafers erzielen – ohne Energie zu verschwenden
Wenn es darum geht, Siliziumwafers zu reinigen, muss man ein schwieriges Gleichgewicht finden. Die Oberfläche der Wafers muss trocken und heiß sein – doch man möchte nicht, dass die gesamte Kammer zu einem Ofen wird oder dass zu viel Energie verbraucht wird.
Wir lösen dieses Problem, indem wir wasserdichte IR-Lampen mit goldbeschichteten Reflektoren kombinieren. Hier ist der Grund dafür:
Warum Gold?
Die meisten Menschen verwenden Aluminium-Reflektoren. Sie sind zwar billig, aber Aluminium absorbiert einen großen Teil der Infrarotenergie, anstatt sie dorthin zu leiten, wo sie benötigt wird.
Wir verwenden Gold, weil es hervorragend dazu geeignet ist, nahinfrarotes Licht zurückzuschlagen. Es geht dabei nicht um Ästhetik, sondern um die Effektivität – Gold reflektiert viel mehr Photonen zurück zur Waffe, was zu einer besseren Fokussierung führt.
Das Ergebnis? Die Wafers erreichen die gewünschte Temperatur schneller – und man benötigt weniger Energie dafür. Es ist einfach effizient.
Umgang mit der Hitze
Diese Lampen sind dafür konzipiert, in feuchten, chaotischen Reinigungsumgebungen zu funktionieren. Durch die Fokussierung der Strahlung verhindern wir, dass „unnötige“ Hitze in den Maschinenrahmen gelangt. So trifft eine konzentrierte Hitzenabe auf genau die Stelle, wo sie benötigt wird.
Nun, seien wir ehrlich: Gold ist nicht billig. Die Anfangskosten sind höher als bei poliertem Aluminium. Man muss nur entscheiden, ob die kürzeren Bearbeitungszeiten und niedrigeren Energiekosten die höheren Anfangskosten wert sind. In der Regel schon.
Unterhalt der Lampen
Das Beste daran ist, dass diese Lampen direkt als Ersatz für die herkömmlichen IR-Lampen verwendet werden können. Wir haben dafür gesorgt, dass die Dichtungen luftdicht sind, damit keine Reinigungsmittel in die Lampen gelangen und die Glühfäden beschädigen.
Ein Hinweis: Wenn Ihr Kühlsystem nicht für diesen zusätzlichen Wärmestrom geeignet ist, könnten unerwünschte Temperaturspitzen auftreten. Überwachen Sie daher Ihre PID-Schaltungen genau.
Und tun Sie sich einen Gefallen: Überprüfen Sie die Reflektoren alle vier Monate. Wenn Schmutz oder Verunreinigungen entstehen, sinkt die Reflexionsfähigkeit der Reflektoren. Dadurch müssen die Lampen länger arbeiten, um auszugleichen – was dazu führt, dass die Glühfäden schneller kaputtgehen. Halten Sie die Reflektoren sauber, dann halten die Lampen länger.