На етапі літографії процес випалювання фоторезисту є не просто способом підготовки обладнання до роботи – це процес, який визначає структуру фоторезисту. Навіть незначна зміна температури на 2°C під час процедури випалювання може порушити контроль за критичними розмірами та призвести до утворення домішок уздовж лінії виробництва. Лампа, яка використовується для випалювання фоторезисту, має одну завдання – підтримувати температуру процесу на постійному рівні, хвилина за хвилиною.
Що є важливим у цьому процесі
Ми використовуємо галогенові випромінювачі короткохвильового інфрачервоного світла, які знаходяться у кварцовому корпусі. Вони швидко реагують та залишаються стабільними. Це забезпечує однорідність температури на поверхні пластини в межах ±0,1°C, а також точність температури випалювання фоторезисту, що дозволяє контролювати тепловий баланс.
Сумісність з чистими приміщеннями класу 1–100 є частиною конструкції пристрою: використовуються матеріали з низьким рівнем викидів газів, а також системи контролю кількості частинок. Відсутність частинок є основною вимогою.
Пристрій працює 24/7 без перерв, а точність виконання процесу забезпечується завдяки системі замкнутого контролю, яка компенсує коливання напруги та знос лампи.
Чому цей пристрій підходить для виробництва
Необхідно, щоб температура під час випалювання відповідала параметрам рецептуру, а не навпаки. Лампа стабілізує температуру в зоні випалювання, що дозволяє ефективно видаляти розчинники та сприяє процесу скріплення фоторезисту. Це призводить до кращої продуктивності та меншої кількості відходів.
Витрати на енергію зменшуються через швидку реакцію лампи та короткий час її роботи. Крім того, менше необхідності у заміні ламп означає менше обслуговування в чистих приміщеннях. Коли температура перестає бути ключовою змінною, відкриваються можливості для покращення процесу.
Що потрібно пам’ятати
Під час встановлення необхідно врахувати механічні характеристики пристрою та сигнали керування. Комплекти для модернізації відрізняються залежно від платформи та типу з’єднань.
Лампа чутлива до потоку охолоджувального повітря та до умов у приміщенні – необхідно дотримуватися вказаних умов та регулярно чистити кварцовий корпус лампи. Після заміни лампи необхідно дати їй трохи часу на стабілізацію перед тим, як почати процедуру випалювання.