На етапі літографії процес випалювання фоторезисту є не просто способом підготовки обладнання до роботи – це процес, який визначає структуру...

На ділянці літографії софт-бейк — це не просто прогрів. Це етап, який встановлює профіль розчинника у фоторезисті, фіксує товщину плівки та задає...